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> 1-3 型压电复合材料电极的制备
1-3 型压电复合材料电极的制备
1-3 型压电复合材料电极的制备
资料类型:
PDF文件
关键词:
磁控溅射
电极
导电性能
附着力
资料大小:
253K
所属学科:
分子表征
来源:
2007年第六届中国功能材料及其应用学术会议暨2007国际功能材料专题论坛论文集(11.15-11.19,武汉)
简介:
采用磁控溅射工艺以Cu、Ag为靶材在1-3型压电复合材料表面制备电极。研究了两种金属材料的溅射镀膜工艺,系统地分析了溅射功率对金属沉积速率、电极导电性能及附着力的影响。结果表明,两种金属的沉积速率随溅射功率的增加呈线性增加,电极方阻及电阻率均随功率增大而减小,溅射功率为100W时电极的附着力较好。
作者:
万媛媛,李莉,王丽坤,秦雷,魏兵
上传时间:
2008-09-01 11:41:32
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liuhsh
2009-02-05 17:33:13
不错。。。。
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