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> 溅射气压对TbFeCo 磁光薄膜的光学常数的影响*
溅射气压对TbFeCo 磁光薄膜的光学常数的影响*
溅射气压对TbFeCo 磁光薄膜的光学常数的影响*
资料类型:
PDF文件
关键词:
磁控溅射
tbfeco
薄膜
椭偏光谱
光学常数
资料大小:
248K
所属学科:
分子表征
来源:
2007年第六届中国功能材料及其应用学术会议暨2007国际功能材料专题论坛论文集(11.15-11.19,武汉)
简介:
利用直流磁控溅射制备了TbFeCo/Si薄膜,采用可变入射角全自动椭圆偏振光谱仪,测量了用磁控溅射法制备的TbFeCo/Si薄膜的光学常数,测量能量范围为1.5~4.5eV。分析了不同氩气压强对磁控溅射制备的TbFeCo/Si磁光薄膜的光学常数的影响。实验结果表明,在低能区域,样品的所有光学常数均随压强增加而增加,受制备工艺影响较大。但在高能区域,光学常数随压强的变化相对说来不再明显。
作者:
张勇,张晋敏,余平,田华
上传时间:
2008-08-21 15:09:57
下载次数:
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